固化 恒黔科技 互感器固化烘箱
更新时间:2020-10-21 22:05:07
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详细介绍
PI胶固化烘箱
固化烘箱作用
本发明属于半导体芯片制造技术领域,具体涉及一种光敏树脂BCB的固化方法,包括如下步骤:1)在外延片表面上涂覆光敏BCB胶,采用光刻的方法在外延片表面形成光敏BCB胶图形;2)采用等离子体反应刻蚀处理外延片表面的光敏BCB胶;3)将刻蚀后的外延片放入退火炉中,通入H2和Ar的混合气体保护,固化,采用多级升温保温的方式从50℃升至275℃,并在275℃保温2h;4)随后增大通入的H2和Ar的混合气体的流量,烘箱固化,迅速将退火炉的温度降至室温,停止通入H2和Ar的混合气体,完成固化。本发明提供的光敏树脂BCB的固化方法采用多级升温保温的方式,使BCB聚合反应更加充分;并在退火时采用H2和Ar的混合气体取代传统N2作为保护气体,降低了氧化老化的可能性,提高BCB质量。
固化-恒黔科技-互感器固化烘箱由上海恒黔电子科技有限公司提供。上海恒黔电子科技有限公司为客户提供“高温电烘箱,工业烘箱,真空烘箱,高温炉,氮气烘箱等”等业务,公司拥有“恒黔”等品牌,专注于电热设备等行业。欢迎来电垂询,联系人:刘先生。
【浸漆固化烘箱】特点:
浸漆固化烘箱-型号:LLB-T270,固化用烘箱,采用独特的热风循环系统使工作室温度分布均匀,全程大风量换气方式和独特的前置换气功能,使箱内浸漆可燃气体浓度始终处于安全范围内。是专为浸漆行业而专业设计的一种加热干燥设备。 广泛用于电机浸漆,电机维修,互感器、变压器浸漆,塑脂硬化,漆包线固化,电机转子烘干。
基本参数:
1.烘烤区尺寸:1900*1000*1000mm
2.产品放置:放置在小车上推入箱内烘烤
3.工作温度:常温--300度
4.控温精度:+-1度
5.使用电源:380V 50HZ
6.额定功率:23 KW
固化烘箱作用
本发明属于半导体芯片制造技术领域,具体涉及一种光敏树脂BCB的固化方法,包括如下步骤:1)在外延片表面上涂覆光敏BCB胶,采用光刻的方法在外延片表面形成光敏BCB胶图形;2)采用等离子体反应刻蚀处理外延片表面的光敏BCB胶;3)将刻蚀后的外延片放入退火炉中,通入H2和Ar的混合气体保护,固化,采用多级升温保温的方式从50℃升至275℃,并在275℃保温2h;4)随后增大通入的H2和Ar的混合气体的流量,烘箱固化,迅速将退火炉的温度降至室温,停止通入H2和Ar的混合气体,完成固化。本发明提供的光敏树脂BCB的固化方法采用多级升温保温的方式,使BCB聚合反应更加充分;并在退火时采用H2和Ar的混合气体取代传统N2作为保护气体,降低了氧化老化的可能性,提高BCB质量。
型号:HJ-RF307
内胆尺寸(mm):高3000mm*宽1800mm*深1600mm
加热功率:260KW
温度参数:
温度范围:RT(室温)-300℃(任意调节设定)
温度均匀性:±3℃(恒温状态测试)
升温速度:室温到100℃小于10分钟
结构与材料:
外壳材料:冷轧板,表面磷化处理,并喷银灰色环保锤纹漆(颜色可选)
内胆材料:不锈钢拉丝板
隔 层:六层格挡配六层承重型不锈钢方管网架,每层承重80KG
保温材料:厚度90毫米硅酸铝保温棉,保温隔热性能良好
门结构:
数 量:双开门
厚 度:90毫米硅酸铝保温棉(高温棉),局部加强安装铰链和拉手
门 扣:迫紧式摇杆拉手,美观,硅酸铝纤维密封棉条,密封性好,寿命长
固化-恒黔科技-互感器固化烘箱由上海恒黔电子科技有限公司提供。上海恒黔电子科技有限公司为客户提供“高温电烘箱,工业烘箱,真空烘箱,高温炉,氮气烘箱等”等业务,公司拥有“恒黔”等品牌,专注于电热设备等行业。欢迎来电垂询,联系人:刘先生。
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